超精密微孔加工_西安中科微精光子科技股份有限公司

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解决方案超精密微孔加工

超精密微孔加工解决方案

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方案概述

面向高精密模具领域对大幅面、海量微结构加工，半导体领域陶瓷封装基板、光刻机精密部件及离子源上网等关键零件的超精细加工，汽车发动机系统核心零件高精度微孔加工，医疗领域液态金属轴承等关键零部件加工，我们提供基于超快激光（飞秒级）的先进加工系统。通过高能量密度、超短脉冲特性，可实现微米级复杂结构的高效冷加工，消除热影响区，确保产品零熔融与无毛刺。系统搭载高精密运动平台与工艺参数优化系统，为客户提供从工艺开发到量产落地的全链条服务，赋能高端制造业向精密化、智能化升级。

01

高精密模具领域海量微结构加工（导光板行业）
02

喷丝板，纺织行业微孔，异型孔高精度高质量加工
03

气浮/液态金属轴承微槽刻蚀加工（CT球管、新能源汽车冷却系统）
04

半导体静电卡盘，离子源栅网等高精度加工

成果展示

锥形滤网打孔

孔数量10200个

孔径Ø0.05mm

精度0.02mm
球形滤网打孔

孔数量600个

孔径Ø0.1mm

精度±0.01mm

制孔方向沿法向
锥形滤网打孔

孔数量600个

孔径Ø0.1mm

精度±0.01mm

制孔方向沿法向

行业应用

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