产品与服务 超精密微孔加工设备-UltraDrill系列

UltrapreciseDrill 50M

超精密微孔加工设备

产品概述
UD系列产品定位在微米级超精密微结构加工领域。产品采用模块化设计理念适配各类应用场景,通过不同配置组合,可实现激光精密微孔、刻蚀、切割以及车削等加工方式。
功能特性
01
兼容纳秒、皮秒、飞秒等不同类型激光器;
02
可选配搭载5D旋切扫描模组、振镜扫描模组;
03
可选配双相机、激光及接触式测距模式;
04
具备视觉定位功能;
05
具备光束整形、光束在线校正功能;
06
搭载自研CAM软件,可实现大幅面图形拼接;
07
具备自动化及数字化软硬件接口。
参数指标
X/Y/Z轴行程(mm)500/400/300
主轴最高转速(rpm/min)6000(车铣机型)
X/Y/Z轴定位精度(mm)0.002/0.002/0.004
X/Y/Z轴重复定位精度(mm)0.001/0.001/0.002
X/Y/Z轴快移速度(m/min)30/30/ 10
打孔精度(mm)±0.002
打孔表面粗糙度(/)Ra0.4
刻蚀精度(mm)±0.002
刻蚀表面粗糙度(μm)Ra0.6
切割精度(mm)±0.003
A轴旋转角度(°)±120
A轴定位/重复精度(")≤20/≤8
旋转同心度(mm)±0.02
C轴旋转角度(°)Nx360
C轴定位/重复精度(")≤20/≤10
旋转同心度(mm)±0.02
设备重量(kg)4200
外形尺寸(mm)(宽X深X高)2000X1800X2300
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