| X/Y/Z自由行程(mm) | 2000/1600/800 |
| X/Y/Z定位精度(mm) | 0.02 |
| X/Y/Z重复定位精度(mm) | 0.01 |
| A/C行程(°) | ±110/0-360 |
| A/C定位精度（″） | 15 |
| A/C重复定位精度（″） | 10 |
| 脉宽(ps) | 1-5 |
| 平均功率(w) | 50 |
最大工件尺寸(圆柱)(mm) | Φ900x800 |
| 单幅面刻蚀精度(mm) | ±0.02 |
| 机器重量(t) | 约25 |
| 设备占地尺寸(mm)(宽X深X高) | 4100X6200X4500 |
| 工作台尺寸(长X宽)(mm) | 2000X1400 |
| 工作台荷重(kg) | 3000 |
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